را
1 | حداکثر فشار کاری 20.6 مگاپاسکال. |
2 | حداکثردمای کار 204 ℃ (محیط دمای بالا تا 454 ℃، در این زمان مواد آب بندی با گرافیت منبسط شده جایگزین می شود) |
3 | سیستم فیلتر آلاینده های ذرات معلق، گازها، مایعات قابل استفاده هستند. |
4 | دقت فیلتر متالورژی متالورژی فولاد ضد زنگ 2μm~40μm |
5 | جریان فیلتر 1x10 -6~1×10-2L/min.سانتی متر مربعpa |
6 | فیلتر قابل تغییر است |
ویژگی های محصول فیلتر
1 | محدوده کاربرد گسترده، محدوده جریان از 15 تا 300SL / دقیقه. |
2 | سازگاری خوبی با اکثر گازهای فرآیند نیمه هادی با خلوص بالا دارد. |
3 | ظرفیت فیلتراسیون 3 نانوذره باعث حفظ راندمان جریان بالا و افت فشار بسیار کوچک می شود. |
4 | سطح برقی 5Ra می تواند از آلودگی داخلی جلوگیری کند. |
5 | برای مطابقت با استانداردهای فرآیند نیمه هادی، پس از آب دیونیزه شده، با نیتروژن داغ پخت کنید. |
6 | 1000 سطح بدون گرد و غبار کارگاه تولید، نظافت و بسته بندی محیط. |
7 | تست نشت 100% هلیوم. |
ورودی | پریز | |
1 | اتصالات لوله 1/8 اینچی | اتصالات لوله 1/8 اینچی |
2 | اتصالات لوله 1/4 اینچی | اتصالات لوله 1/4 اینچی |
3 | اتصالات لوله 3/8 اینچی | اتصالات لوله 3/8 اینچی |
4 | اتصالات لوله 1/2 اینچی | اتصالات لوله 1/2 اینچی |
5 | اتصالات لوله 6 میلی متری | اتصالات لوله 6 میلی متری |
6 | اتصالات لوله 8 میلی متری | اتصالات لوله 8 میلی متری |
7 | اتصالات لوله 10 میلی متری | اتصالات لوله 10 میلی متری |
8 | اتصالات لوله 12 میلی متری | اتصالات لوله 12 میلی متری |
9 | 1/8 اینچ NPT زن | 1/8 اینچ NPT زن |
10 | 1/4 اینچ NPT زن | 1/4 اینچ NPT زن |
11 | 1/4 اینچ NPT مرد | 1/4 اینچ NPT مرد |
12 | 3/8 اینچ NPT مرد | 3/8 اینچ NPT مرد |
13 | 1/2 اینچ NPT مرد | 1/2 اینچ NPT مرد |
پارامترهای عملکرد محصول فیلتر
1 | دقت فیلترینگ | ≥0.0025μm | |
2 | راندمان فیلتراسیون | نرخ حذف 99.99999%≥0.0025μm | |
3 | جریان نامی | 15 لیتر در دقیقه | |
4 | 60 لیتر در دقیقه | ||
5 | 120 لیتر در دقیقه | ||
6 | 200 لیتر در دقیقه | ||
7 | 300 لیتر در دقیقه | ||
8 | ترکیب فیلتر | عنصر فیلتر | 316 لیتر / PTFE |
9 | مسکن | فولاد ضد زنگ 316 لیتر | |
10 | شرایط کاری | حداکثر فشار ورودی | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | حداکثر فشار دیفرانسیل | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | حداکثر دمای عملیاتی | 430 ℃ (گاز بی اثر) | |
13 | میزان نشت هلیوم | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | پرداخت سطح | ≤Ra 5μin |