تجهیزات تصفیه گاز دم می تواند گازهای مورد استفاده در فرآیندهای اچینگ و فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی را در صنایع نیمه هادی ، کریستال مایع و انرژی خورشیدی ، از جمله SIH4 ، SIH2CL2 ، PH3 ، B2H6 ، TEOS ، H2 ، CO ، NF3 ، SF6 ، C2F6 ، WF6 ، NH3 ، N2O ، و غیره کنترل کند.
روش تصفیه گاز اگزوز
با توجه به ویژگی های تصفیه گاز اگزوز ، درمان را می توان به چهار نوع درمان تقسیم کرد:
1. نوع شستشوی آب (تصفیه گازهای خورنده)
2. نوع اکسید کننده (برخورد با گازهای قابل احتراق و سمی)
3. جذب (با توجه به نوع مواد جذب برای مقابله با گاز اگزوز مربوطه).
نوع احتراق پلاسما (انواع گازهای اگزوز را می توان درمان کرد).
هر نوع درمان دارای مزایا و معایب خاص خود و همچنین دامنه کاربرد آن است. هنگامی که روش تصفیه آب شستشو آب است ، تجهیزات ارزان و ساده است و فقط می تواند گازهای محلول در آب را کنترل کند. دامنه کاربردی از نوع شستشوی آب برقی بالاتر از نوع شستشوی آب است ، اما هزینه بهره برداری زیاد است. نوع خشک از راندمان درمانی خوبی برخوردار است و در مورد جریان گاز که قابل مسدود یا جریان آسان است ، کاربردی ندارد.
مواد شیمیایی و محصولات جانبی آنها که معمولاً در صنعت نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرند ، می توانند با توجه به خصوصیات شیمیایی و دامنه های مختلف آنها طبقه بندی شوند:
1. گازهای قابل اشتعال مانند SIH4H2 و غیره
2. گازهای سمی مانند ASH3 ، PH3 و غیره
3. گازهای خورنده مانند HF ، HCl و غیره.
4. گازهای گلخانه ای مانند CF4 ، NF3 و غیره
از آنجا که چهار گاز فوق برای محیط زیست یا بدن انسان مضر است ، باید از انتشار مستقیم آن در جو جلوگیری کند ، بنابراین گیاه نیمه هادی عمومی با یک سیستم تصفیه گاز اگزوز بزرگ متمرکز نصب شده است ، اما این سیستم فقط اگزوز شستشوی آب است ، بنابراین کاربرد آن محدود به گازهای محلول در آب است و نمی تواند با بخش Exera Gesturactor Experation و Exlange of the SemiCustrate همراه نباشد. بنابراین ، لازم است تجهیزات تصفیه گاز اگزوز مربوطه با توجه به ویژگی های گاز حاصل از هر فرآیند به منظور حل مشکل گاز اگزوز به روشی کوچک انتخاب و مطابقت داشته باشید. از آنجا که منطقه کار عمدتاً از سیستم تصفیه گاز اگزوز مرکزی دور است ، غالباً به دلیل خصوصیات گاز منجر به تبلور یا تجمع گرد و غبار در خط لوله می شود و در نتیجه گرفتگی خط لوله منجر به نشت گاز می شود و در موارد جدی حتی باعث انفجار نمی شود ، نمی تواند اطمینان حاصل کند که ایمنی کار کارکنان سایت است. بنابراین ، در محل کار نیاز به پیکربندی تجهیزات تصفیه گاز اگزوز کوچک مناسب برای ویژگی های گاز فرآیند ، به منظور کاهش گاز اگزوز راکد در منطقه کار ، برای اطمینان از ایمنی پرسنل.
زمان پست: اوت 10-2023