زمینه های استفاده از سیستم های لوله کشی گاز با خلوص بالا

این پروژه شامل صنایع پیشرفته مانند نیمه هادی ها ، مدارهای یکپارچه ، نمایشگرهای پانل مسطح ، نوری الکتریک ، خودروها ، انرژی جدید ، نانو ، فیبر نوری ، میکروالکترونیک ، پتروشیمی ، زیست پزشکی ، آزمایشگاههای مختلف ، موسسات تحقیقاتی و تست های استاندارد و غیره است.

فناوری خط لوله گاز خلوص بالا

　　فناوری لوله کشی گاز با خلوص بالا بخش مهمی از سیستم تأمین گاز خلوص بالا است و یک فناوری مهم برای تأمین گازهای خلوص بالا به نقطه تأمین مورد نیاز است. به اصطلاح فناوری لوله کشی گاز با خلوص بالا شامل طراحی صحیح سیستم ، انتخاب اتصالات و لوازم جانبی ، ساخت و نصب ، آزمایش و…

　　انواع گازهای عمومی

　　General gases are categorized in the general gas electronics industry as:General gases, also known as bulk gases:Hydrogen (H2), Nitrogen (N2), Oxygen (O2), Argon (A2) and other special gases (Specialty gases) Mainly Silicon Tetrachloride, Hydrogen Boride, Boron Hexafluoride, Boron Hexafluoride, Boron Hexafluoride, Boron Hexafluoride ، Boron Hexafluoride ، Boron Hexafluoride ، Boron Hexafluoride ، Boron Hexafluoride ، Boron Hexafluoride ، Boron Hexafluoride ، Boron Hexafluoride ، and Boron Hexafluoride. و غیره انواع گازهای ویژه معمولاً به عنوان خورنده ، سمی ، قابل اشتعال ، قابل اشتعال ، بی اثر و غیره طبقه بندی می شوند.

　　گازهای نیمه هادی عمومی به شرح زیر طبقه بندی می شوند

　　(1) خورنده/سمی: اسید هیدروکلریک ، BF3 ، WF6 ، HBR ، سیلیس ، NH3 ، PH3 ، CL2 ، BCL 3 و غیره.

　　. و غیره

　　(3) اشتعال پذیری: O2 ، CL2 ، N2O ، NF3… و غیره.

　　(4) گازهای نیمه هادی ، مانند گازهای نجیب: CF4 ، C2F6 ، C4F8 ، CO2 ، نئون ، کریپتون ، هلیوم…. برای بدن انسان مضر است.

　　به طور خاص ، برخی از گازها ، مانند SIH4 ، خاصیت احتراق خود به خود را دارند. پس از بروز نشتی ، با اکسیژن موجود در هوا به شدت واکنش نشان می دهد و شروع به سوزاندن می کند. ASH3 نیز سمی است. نشت جزئی ممکن است به زندگی مردم آسیب برساند. به دلیل این خطرات آشکار ، الزامات ایمنی برای طراحی سیستم به ویژه زیاد است.

　　سیستم های لوله کشی گاز ویژه الکترونیکی