مواد شیمیایی و گازهای مختلف مورد استفاده در تولید نیمه هادی به سیستم های سیال قوی برای تأمین بدون وقفه در هر مرحله از تولید نیاز دارند. این سیستم های سیال باید ضمن اطمینان از یک فرآیند تمیز ، بدون نشت و کنترل شده ، از شرایط شدید فرآیند مورد نیاز برای تولید نیمه هادی پشتیبانی کنند. بنابراین ، انتخاب اجزای سیستم سیال در فرآیند ساخت نیمه هادی دقیق بسیار مهم است.
انتخاب اجزای سیستم سیال با کیفیت بالا مترادف با افزایش راندمان تولید و کاهش خرابی سیستم است. با توجه به فرآیند تولید نیمه هادی ، ما در مورد نقش مهم اجزای سیستم سیال و اهمیت قابلیت اطمینان آنها بحث خواهیم کرد.
اهمیت اجزای سیستم سیال در تولید نیمه هادی
اجزای سیستم سیال در ساخت نیمه هادی شامل اختلاط شیمیایی مختلف ، انتقال و سیستم های کنترل برای حمل ایمن مایعات شیمیایی در یک محیط کنترل شده است. یک سیستم سیال ایده آل دارای:
stn مخلوط کردن شیمیایی یکنواخت
کنترل آلودگی
- دما و کنترل فشار
- عرضه شیمیایی بدون وقفه
فقط با بالاترین کیفیت مؤلفه ها می توانند چنین شرایط ایده آل را در یک سیستم سیال نیمه هادی فراهم کنند. مزایای استفاده از چنین مؤلفه هایی شامل موارد زیر است:
دقیق: مؤلفه هایی مانند دریچه ها ، تنظیم کننده ها و پمپ ها به طور هم زمان کار می کنند تا اطمینان حاصل شود که نسبت صحیح مواد شیمیایی به سلول تولید تحویل داده می شود. ورودی های دقیق خطر تغییرات جریان را از بین می برد ، که باعث بهبود کیفیت محصول نهایی می شود.
سازگاری و پاکیزگی: اجزای سیستم سیال با ترکیبات مواد سازگار با مایعات فرآیند ، خطر آلودگی را کاهش می دهند. علاوه بر این ، نصب بدون نشت این اجزای سیستم سیال باعث کاهش آلودگی های ذرات می شود و یک محیط تولید تمیز و کنترل شده را برای بهبود بازده فراهم می کند.
ایمنی: گازها و مواد شیمیایی مورد استفاده در تولید نیمه هادی می توانند برای سلامت انسان مضر باشند. با این حال ، اجزای سیستم سیال طراحی شده برای جلوگیری از نشت و نشت می توانند این مایعات را به صورت ایمن و کنترل شده به واحدهای تولیدی تحویل دهند.
کارآیی: ساخت و ساز بدون نشت و کنترل دقیق اجزای سیستم سیال با کیفیت بالا ، خرابی عملیاتی و نیازهای نگهداری مکرر را به حداقل می رساند ، و تولید صاف و کارآمد را برای رسیدن به اهداف تولید ترویج می کند.
راه حل های مؤلفه سیستم سیال با کیفیت
اجزای سیستم سیال برای برآورده کردن چالش های تولید نیمه هادی نیاز به تاسیسات با کیفیت بالا دارند. مؤلفه های کلیدی که بر FAB تأثیر می گذارد عبارتند از:
دریچه ها: دریچه های با کارایی بالا ، مانند دیافراگم ، زنگوله یا دریچه های سوزن ، به طور ایده آل جریان سیال را در امکانات تولید تنظیم می کنند. دریچه های با کیفیت و با کیفیت بالا ، دقت و کنترل مورد نیاز برای بهبود کارآیی فرآیندهای تولید و کنترل برای تولید نیمه هادی بحرانی را فراهم می کند.
اتصالات: اتصالات با خلوص بالا برای سیستم های لوله و شیلنگ و سایر اجزای مهم اتصالات مهر و موم شده را برای تقویت ایمنی و خلوص اجزای سیستم سیال فراهم می کند.
شیلنگ ها: برای نیازهای ساخت دقیق ، شیلنگ های عایق در مدیریت حرارتی کمک می کنند تا شرایط فرآیند در اتاق تولید بهینه حفظ شود. این مهم است زیرا کوچکترین نوسان دما می تواند به تراشه ها آسیب برساند و منجر به زباله های تولید شود.
لوله های انعطاف پذیر: در جایی که شرایط امکان پذیر است ، می توان از لوله های انعطاف پذیر برای کاهش تعداد اتصالات در مونتاژ سیستم سیال استفاده کرد. لوله برای به دست آوردن مسیر سیال مورد نظر خم شده است. اتصالات کمتر به معنای خطر کمتری نشت و آسیب به دلیل لرزش و حرکت است.
تنظیم کننده ها: تنظیم کننده ها به طور موثری فشار را در هر مرحله از فرآیند تولید نیمه هادی کنترل می کنند. جریان ثابت و دقیق در حالی که از اجتناب از مواد شیمیایی سیال هدر رفته و مواد خاص خودداری می کند ، عملکرد با کیفیت بالا و پایدار به دست می آورد.
فیلترها: یک ذره واحد می تواند بر عملکرد نیمه هادی تأثیر بگذارد. استفاده از فیلترهای خلوص فوق العاده بالا ، آلودگی ذرات را از بین می برد و آسیب CHIP را به حداقل می رساند.
راندمان سیستم سیال در ساخت نیمه هادی را می توان با طیف گسترده ای از دریچه های با کیفیت بالا ، اتصالات ، تنظیم کننده ها ، شیلنگ ها و فیلترها به دست آورد.
زمان پست: اکتبر -09-2023