استفاده از گازها در صنعت نیمه هادی مربوط به اوایل دهه 1950 تا 1960 است. در طی فرآیند تولید نیمه هادی ، از گازها عمدتاً برای تمیز کردن و محافظت از مواد نیمه هادی برای اطمینان از خلوص و کیفیت آنها استفاده می شود. از جمله گازهای متداول می توان به نیتروژن و هیدروژن اشاره کرد.
با توسعه فناوری نیمه هادی و فرآیندهای تولیدی همچنان به پیشرفت ادامه می یابد ، تقاضا برای گازها افزایش می یابد. در سال 1970 ، توسعه بیشتر فناوری تولید نیمه هادی ، استفاده از گازها در فرآیندهای کلیدی مانند اچ و رسوب فیلم های نازک به تدریج افزایش یافته و گازهای فلوراید (به عنوان مثال SF6) و اکسیژن معمولاً از گازهای اچینگ و رسوب استفاده می شود. در سال 1980 شاهد افزایش بیشتر تقاضا برای گازها با توسعه مدارهای یکپارچه و افزایش تقاضا برای آنها بود. هیدروژن به طور گسترده ای در فرآیند تولید ، از جمله آنیل شدن هیدروژن و رسوب بخار هیدروژن مورد استفاده قرار گرفت. و از سال 1990 تا به امروز ، تقاضا برای گازهای با خلوص بالا و گازهای خاص افزایش یافته است زیرا اندازه دستگاه های نیمه هادی همچنان در حال کاهش است و فرآیندهای جدید معرفی شده است. به عنوان مثال ، استفاده از لیتوگرافی فوق العاده ماوراء بنفش (EUV) نیاز به استفاده از گازهای بسیار با خلوص بالا مانند نیتروژن و هیدروژن دارد.
گاز نیمه هادی با توسعه محصولات مرتبط با آن که توسط محصولات بیشتر و بیشتر ناشی می شود ، افزایش می یابد ، در حالی که این گاز نیز متعلق به منبع خطر است ، بنابراین محصولات مورد استفاده برای رفع فشار گاز ، محصولات تشخیص گاز و جلوگیری از نشت گاز مانند تنظیم کننده فشار ، دریچه های گاز ، فشار گاز ، ردیاب گاز ، و غیره.
تنظیم کننده های فشار: تنظیم کننده های فشار دستگاه هایی هستند که برای کنترل فشار گاز استفاده می شوند. آنها معمولاً از شیر تنظیم کننده و سنسور فشار تشکیل شده اند. تنظیم کننده های فشار ورودی گاز با فشار بالا را می گیرند و با تنظیم شیر برای برآورده کردن نیازهای خاص کاربرد ، فشار گاز خروجی را تثبیت می کنند. تنظیم کننده های فشار به طور گسترده در مناطقی مانند صنعت ، تولید و آزمایشگاه ها و همچنین در صنعت نیمه هادی از جمله دیگر مورد استفاده قرار می گیرند تا از ثبات و ایمنی تأمین گاز اطمینان حاصل کنند.
دریچه های گاز: از دریچه های گازی برای کنترل جریان گازها و بستن معابر گاز استفاده می شود. آنها معمولاً یک عملکرد روشن/خاموش دارند که جریان گاز را باز یا بسته می کند. انواع مختلف دریچه های گازی از جمله دریچه های دستی ، دریچه های برقی و دریچه های پنوماتیک وجود دارد. آنها به طور گسترده ای در سیستم های گازی برای کنترل جریان ، فشار و سرعت جریان گازها استفاده می شوند.
سنجهای فشار گاز: از فشار فشار گاز برای اندازه گیری سطح فشار یک گاز استفاده می شود. آنها معمولاً در مکان های بحرانی در سیستم های گازی نصب می شوند تا تغییرات فشار را کنترل کنند و از محدودیت های ایمن اطمینان حاصل کنند. سنجهای فشار گاز به طور گسترده در صنعت ، تولید و آزمایشگاه ها مورد استفاده قرار می گیرد و صنعت نیمه هادی نیز درگیر شده است.
ردیاب های نشت گاز: از ردیاب های نشت گاز برای تشخیص نشت در سیستم های گاز استفاده می شود. آنها تشخیص می دهندوجود نشت گاز و صدا زنگ هشدار به گونه ای است که می توان به موقع برای جلوگیری از تصادفات نشت انجام شد. آشکارسازهای نشت گاز به طور گسترده در کاربردهای صنعتی ، شیمیایی ، نفت و گاز مورد استفاده قرار می گیرند و صنعت نیمه هادی نیز درگیر شده است.
زمان پست: فوریه -20-2024