با رشد بازار نیمه هادی ، استانداردهای خلوص و دقت دقیق تر می شود. یکی از عوامل تعیین کننده در کیفیت تولید نیمه هادی ، گازهای مورد استفاده در این فرآیند است. این گازها در فرآیند تولید نقش های بسیاری ایفا می کنند ، از جمله:
کنترل فرآیند دقیق
پیشگیری از آلودگی
تقویت املاک متالورژیکی
برای انجام این نقش ها به طور مؤثر ، سیستم تأمین گاز و توزیع گاز باید کارآمد باشد. طراحی سیستم های کنترل گاز مورد استفاده در ساخت نیمه هادی باید توسط اجزای قوی و مجامع سفارشی پشتیبانی شود تا از تولید قابل اعتماد و با کیفیت بالا از نیمه هادی ها اطمینان حاصل شود.
گازهای مورد استفاده در ساخت نیمه هادی
فرایند تولید نیمه هادی ها نیاز به استفاده از گازهای مختلف در مراحل مختلف فرآیند دارد.
در حالی که می توان از گازهای متداول مانند نیتروژن ، هیدروژن ، آرگون و هلیوم به شکل خالص آنها استفاده کرد ، فرآیندهای خاصی ممکن است به مخلوط های تخصصی نیاز داشته باشند. Silanes یا Siloxanes ، Hexafluorides ، Halides و Hydrocarbons تعدادی از گازهای مخصوص مورد استفاده در ساخت نیمه هادی هستند. بسیاری از این گازها می توانند خطرناک یا بسیار واکنشی باشند و در انتخاب و طراحی اجزای سیستم های گازی چالش هایی ایجاد می کنند.
در اینجا چند نمونه آورده شده است:
\ هیدروژن و هلیوم به دلیل اندازه و وزن کوچک اتمی آنها می توانند به راحتی از سیستم های لوله کشی و اتصالات نشت کنند.
\ silanes بسیار قابل اشتعال است و می تواند به طور خودجوش (autoignite) در هوا را به خود جلب کند.
\ نیتروژن دیفلوئورید مورد استفاده در مراحل رسوب ، اچ کردن و مراحل تمیز کردن محفظه به یک گاز گلخانه ای قدرتمند هنگام بیرون آمدن در محیط تبدیل می شود.
\ فلوراید هیدروژن (گاز اچ) برای لوله کشی فلز بسیار خورنده است.
\ trimethylgallium و آمونیاک می تواند دشوار باشد - نوسانات کوچک در دما و فشار آنها می تواند بر روند رسوب تأثیر بگذارد.
کنترل شرایط فرآیند برای به حداقل رساندن اثرات منفی این گازها باید در طول طراحی سیستم اولویت اصلی باشد. استفاده از مؤلفه های با بالاترین کیفیت مانند دریچه های دیافراگم AFK در طی فرآیند ساخت ، به همان اندازه مهم است.
پرداختن به چالش های طراحی سیستم
گازهای درجه نیمه هادی در بیشتر موارد خلوص بالا هستند و شرایط بی اثر را فراهم می کنند یا واکنش ها را در مراحل مختلف فرآیند تولید مانند گازهای اچ و رسوب تقویت می کنند. نشت یا آلودگی چنین گازها می تواند اثرات منفی داشته باشد. بنابراین ، برای اجزای سیستم مورد استفاده در مهر و موم شده و مقاوم در برابر خوردگی بسیار مهم است و همچنین دارای یک سطح صاف (پولیش الکترولیتیک) برای اطمینان از عدم امکان آلودگی و سطح بسیار بالایی از پاکیزگی است.
علاوه بر این ، برخی از این گازها می توانند برای دستیابی به شرایط فرآیند مورد نظر گرم یا خنک شوند. مؤلفه های عایق بندی شده کنترل دما را تضمین می کنند ، که برای عملکرد کارآمد محصول نهایی بسیار مهم است.
از ورودی منبع تا نقطه استفاده ، طیف گسترده ای از اجزای AFK از خلوص فوق العاده بالا ، دما ، فشار و کنترل جریان مورد نیاز در اتاق های نیمه هادی و اتاق های خلاء پشتیبانی می کند.
سیستم های طراحی شده با اجزای با کیفیت در فاب های نیمه هادی
نقش مؤلفه های با کیفیت و بهینه سازی طراحی برای کنترل دقیق و تولید ایمن نیمه هادی ها بسیار مهم است. اجزای مورد استفاده برای مطابقت با شرایط مختلف فرآیند مورد نیاز در مراحل مختلف تولید ، باید قوی و بدون نشت باشند. دریچه ها ، اتصالات ، تنظیم کننده ها ، لوله کشی ها و براکت های آب بندی با ویژگی های زیر مشخص می شوند:
خلوص فوق العاده بلند
مهر و موم بدون نشت
عایق کنترل شده دما
کنترل فشار
مقاومت در برابر خوردگی
درمان پولیش الکترولیتی
زمان پست: اکتبر -09-2023