فرآیند تولید گازهای تخصصی الکترونیکی شامل چندین فرآیند مانند سنتز ، تصفیه ، پر کردن ، تجزیه و تحلیل و آزمایش ، اختلاط و تناسب است. به منظور برآورده کردن الزامات تولید نیمه هادی پایین دست برای محتوای خلوص و ناخالصی ، روند تصفیه بسیار مهم است. بسته به ترکیب گاز سنتز بالادست یا گاز خام ، تقطیر درجه حرارت پایین یا تصفیه چند مرحله ای انجام می شود.
الزامات تمیز بودن بالا
فرآیند آماده سازی گازهای ویژه الکترونیکی را می توان به دو بلوک اصلی تهیه و تصفیه سنتز بالادست ، که متعلق به فرآیند تولید شیمیایی است ، تقسیم کرد. اندازه خط لوله تولید بزرگ است ، و هیچ الزام خاصی در سطح پاکیزگی وجود ندارد. پس از تصفیه پایین دست ، محصول پر از گاز است و برای آماده سازی مخلوط می شود. خط لوله تولید کوچک است و نیاز به سطح تمیز بودن دارد. باید مشخصات استاندارد فرآیند تولید نیمه هادی را برآورده کند.
الزامات آب بندی بالا
با توجه به فعالیت شیمیایی آنها ، گازهای ویژه الکترونیکی نیز تقاضای زیادی را بر روی مواد و آب بندی سیستم فرآیند تولید قرار می دهند. درست مانند الزامات تولید نیمه هادی ، از نشت رابط ناشی از معرفی ناخالصی ها یا خوردگی گازهای خاص جلوگیری می کند. همچنین می توان از این سیستم برای جلوگیری از معرفی ناخالصی ها یا نشت رابط ناشی از خوردگی گازهای خاص استفاده کرد.
الزامات پایداری با کیفیت بالا
کیفیت گازهای تخصصی الکترونیکی شامل تعدادی از شاخص ها از قبیل خلوص و محتوای ذرات ناخالصی است. هرگونه تغییر در شاخص ها بر نتایج فرآیند تولید نیمه هادی پایین دست تأثیر می گذارد. بنابراین ، برای اطمینان از قوام شاخص های خاص محصول گاز الکترونیکی ، سیستم فرآیند تهیه برای کنترل ثبات شاخص ها نیز بسیار مهم است.
با توجه به فعالیت شیمیایی و الزامات کیفیت EGP ، سیستم تولید برای تهیه EGP ، به ویژه سیستم تصفیه پایین دست ، باید الزامات مواد خلوص بالا ، آب بندی بالا ، پاکیزگی بالا و قوام با کیفیت را برآورده کند و ساخت اجزای مهندسی شده باید استانداردهای صنعت تولید نیمه هادی را رعایت کند.
آنچه ما معمولاً از آن به عنوان "خلوص بالا" یاد می کنیم ، از لحاظ تئوری تعریف خلوص یک ماده ، مانند گازهای خلوص بالا ، مواد شیمیایی با خلوص بالا و غیره است. سیستم های فرآیند یا اجزای سیستم فرآیند که برای مواد با خلوص بالا اعمال می شوند ، همچنین به عنوان سیستم های با صعود بالا و دریچه های با خلوص بالا گفته می شود. سیستم های تهیه گاز تخصصی الکترونیکی نیاز به اتصالات کاربردی با خلوص بالا ، دریچه ها و سایر مؤلفه های سیال ، یعنی اتصالات و دریچه هایی که با مواد خلوص بالا و فرآیندهای تولید تمیز پردازش می شوند و برای پاکسازی و تمیز کردن آسان ساختار یافته اند. با عملکرد آب بندی بالا این مؤلفه های سیال با استفاده از مهندسی و نیازهای ساخت و ساز صنعت نیمه هادی ، برای تحقق مسیر جریان فرآیند برنامه طراحی شده اند.
اتصالات لوله کشی خلوص بالا
اتصالات مهر و موم صورت و واشر فلزی VCR و اتصالات جوشکاری باسن راهنمای اتوماتیک به طور گسترده ای در خواستار نیاز به فرآیند خلوص سیستم سیال به دلیل توانایی در انتقال صاف مسیر جریان در اتصال ، بدون منطقه رکود و عملکرد آب بندی بالا استفاده می شود. اتصال قابل تکرار و مداوم و عملکرد آب بندی هر بار که واشر تغییر شکل یافته برداشته می شود و جایگزین می شود.
لوله ها با استفاده از یک سیستم جوشکاری مداری خودکار جوش داده می شوند. این لوله توسط گاز خلوص بالا در داخل و خارج محافظت می شود. الکترود تنگستن برای جوشکاری با کیفیت بالا در امتداد مدار می چرخد. جوشکاری مداری کاملاً خودکار لوله را بدون معرفی سایر مواد ذوب می کند ، دستیابی به جوش با کیفیت بالا با کنترل مکرر لوله های نازک با جوشکاری دستی دشوار است.
اتصال مهر و موم صورت واشر فلزی VCR
اتصال خودکار جوشکاری باسن مداری لوله ها
دریچه های خلوص بالا
فعالیت شیمیایی گازهای خاص الکترونیکی قابل اشتعال ، انفجاری ، خورنده و سمی ، تقاضای زیادی را در آب بندی شیر قرار می دهد. به منظور بهبود قابلیت اطمینان آب بندی ، نیاز به دریچه های بدون بسته بندی برای جلوگیری از نشت خارجی ، یعنی تعویض عملکرد ساقه دریچه و بدنه دریچه بین مهر و موم با استفاده از گلوله های فلزی یا دیافراگم فلزی ، به منظور از بین بردن نشت به دلیل سایش و بسته بندی تغییر شکل مهر و موم. دریچه های مهر و موم شده و دیافراگم به دلیل قابلیت اطمینان بیشتر مهر و موم ها و تمیز کردن آسان تر و تعویض پاکسازی داخلی دریچه ، معمولاً در سیستم های فرآیند برای برنامه های با خلوص بالا استفاده می شوند.
دریچه های مهر و موم شده با استفاده از سوپاپ سوزن بدون بسته بندی است که امکان تنظیم آهسته و تنظیم جریان را فراهم می کند. مورد استفاده برای پر کردن گاز تخصصی الکترونیکی با نیازهای جریان ایمنی یا بطری های منبع پیش ساز با نیازهای ایمنی بالا. مهر و موم های نوک ساقه تمام فلزی امکان دمای بسیار کم کار را فراهم می کند و برای مایع سازی کرایوژنیک گازهای مخصوص الکترونیکی در مخازن محصول نهایی پس از تقطیر کرایوژنیک برای لوله کشی استفاده می شود.
دریچه مهر و موم دیافراگم بهار یک دریچه با ضربه محکم و ناگهانی 1/4 برای استفاده به عنوان یک شیر سوئیچینگ به طور خودکار کنترل شده در لوله کشی تحویل است. آنها معمولاً به دلیل مسیر جریان داخلی ساده ، حجم داخلی کوچک و سهولت پاکسازی و جایگزینی ، در برنامه های با فشار فوق العاده بالا ، با استفاده از فشار بالا استفاده می شوند.
دریچه های دیافراگم که از طریق نوک ساقه بسته می شوند می توانند به آرامی باز شوند و در فشارهای عملیاتی بالاتر از دریچه های دیافراگم غیر پنگ استفاده شوند. آنها به طور گسترده ای در پر کردن گاز مخصوص الکترونیکی با فشار بالا یا بطری های منبع پیش ساز استفاده می شوند.
دریچه مهر و موم ثانویه نه تنها می تواند در سیستم های فرآیند دمای فوق العاده کم در -200 درجه مورد استفاده قرار گیرد ، بلکه از نشت رسانه های خطرناک در جو نیز جلوگیری می کند. معمولاً برای گازهای خاص الکترونیکی بسیار خطرناک مانند سیستم پر کردن سیلین استفاده می شود.
شرکت فناوری Shenzhen Wofei ، Ltd ، با بیش از 10 سال تجربه در زمینه تهیه گازهای صنعتی و تخصصی ، مواد ، سیستم های تأمین گاز و مهندسی گاز برای نیمه هادی ، LED ، DRAM ، TFT-LCD ، ما می توانیم مواد لازم را برای شما فراهم کنیم تا محصولات خود را به سمت پیشرو صنعت سوق دهیم. ما نه تنها می توانیم طیف گسترده ای از دریچه ها و اتصالات را برای گازهای ویژه الکترونیکی نیمه هادی تهیه کنیم ، بلکه می توانیم لوله کشی گاز و نصب تجهیزات را برای مشتریان خود نیز طراحی کنیم. اگر در این زمینه نیاز دارید ، لطفاً با شماره 27919860 با ما تماس بگیرید.
زمان پست: ژوئیه 19-2023