فناوری لوله کشی گاز با خلوص بالا بخش مهمی از سیستم تأمین گاز با خلوص بالا است که فناوری اصلی برای ارائه گاز با خلوص بالا به نقطه استفاده و هنوز هم کیفیت واجد شرایط را حفظ می کند. فناوری لوله کشی گاز با خلوص بالا شامل طراحی صحیح سیستم ، انتخاب اتصالات و لوازم جانبی ، ساخت و ساز و نصب و آزمایش است. در سالهای اخیر ، نیازهای فزاینده ای به میزان خلوص و ناخالصی گازهای با خلوص بالا در تولید محصولات میکروالکترونیک که توسط مدارهای یکپارچه در مقیاس بزرگ نشان داده شده است ، باعث شده است که فناوری لوله کشی گازهای با خلوص بالا به طور فزاینده مورد توجه و تأکید قرار بگیرد. در زیر خلاصه ای از لوله کشی گاز با خلوص بالا از انتخاب مواد استof ساخت و ساز و همچنین پذیرش و مدیریت روزانه.
انواع گازهای رایج
طبقه بندی گازهای مشترک در صنعت الکترونیک：
گازهای مشترک（گاز فله）: هیدروژن (ح2)، نیتروژن (N2) ، اکسیژن (o2) ، آرگون (الف2) ، و غیره
گازهای ویژهSIH هستند4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,با فشار دادن3, SIH2Cl2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,دارای نقص4 ,CLF3 ,هم,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… و غیره
انواع گازهای خاص به طور کلی می توانند به عنوان خورنده طبقه بندی شوندگازسمیگاز، قابل اشتعالگاز، قابل احتراقگاز، بی اثرگاز، و غیره. گازهای نیمه هادی متداول به طور کلی به شرح زیر طبقه بندی می شوند.
(i) خورنده / سمیگاز: hcl ، bf3، WF6، HBR ، SIH2Cl2، NH3، pH3، cl2، bcl3… و غیره
(ii) اشتعال پذیریگاز: h2، ch4، SIH4، pH3، ASH3 ، SIH2Cl2، ب2H6، CH2F2,چاک3F ، CO ... و غیره.
(iii) قابلیت احتراقگاز: o2، cl2، n2o ، nf3… و غیره
(IV) بی اثرگاز: n2، cf4، ج2F6، ج4F8,SF6، همکار2، ne ، KR ، او ... و غیره.
بسیاری از گازهای نیمه هادی برای بدن انسان مضر هستند. به ویژه ، برخی از این گازها ، مانند SIH4 احتراق خود به خود ، تا زمانی که یک نشت با اکسیژن موجود در هوا به شدت واکنش نشان دهد و شروع به سوختن کند. و خاکستر3بسیار سمی ، هر نشت جزئی ممکن است خطر زندگی انسان را ایجاد کند ، به دلیل این خطرات آشکار است ، بنابراین الزامات ایمنی طراحی سیستم به ویژه زیاد است.
دامنه کاربرد گازها
به عنوان یک ماده اولیه اساسی در صنعت مدرن ، محصولات گازی به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرد و تعداد زیادی از گازهای رایج یا گازهای خاص در متالورژی ، فولاد ، نفت ، صنایع شیمیایی ، ماشین آلات ، الکترونیک ، شیشه ، سرامیک ، مصالح ساختمانی ، ساخت و ساز ، فرآوری مواد غذایی ، دارو و بخش های پزشکی استفاده می شود. استفاده از گاز تأثیر مهمی بر فناوری بالای این مزارع به ویژه دارد و گاز یا گاز فرآیند ضروری آن است. تنها با نیاز و ارتقاء بخش های مختلف صنعتی جدید و علم و فناوری مدرن ، محصولات صنعت گاز می توانند با جهش و مرزها از نظر تنوع ، کیفیت و کمیت توسعه یابد.
کاربرد گاز در میکروالکترونیک و صنعت نیمه هادی
استفاده از گاز همیشه نقش مهمی در فرآیند نیمه هادی ایفا کرده است ، به ویژه فرآیند نیمه هادی به طور گسترده در صنایع مختلف مورد استفاده قرار گرفته است ، از ULSI سنتی ، TFT-LCD تا صنعت میکرو الکترو مکانیکی فعلی (MEMS) ، که همه از آنها به اصطلاح فرایند نیمه هادی به عنوان فرآیند تولید محصولات استفاده می کنند. خلوص گاز تأثیر تعیین کننده ای بر عملکرد قطعات و بازده محصول دارد و ایمنی تأمین گاز مربوط به سلامت پرسنل و ایمنی عملیات گیاهان است.
اهمیت لوله کشی با خلوص بالا در حمل و نقل گاز با خلوص بالا
در فرآیند ذوب و ساخت مواد از جنس استنلس استیل ، حدود 200 گرم گاز در هر تن قابل جذب است. پس از پردازش فولاد ضد زنگ ، نه تنها سطح آن با آلاینده های مختلف چسبیده است ، بلکه در شبکه فلزی آن نیز مقدار مشخصی از گاز را جذب می کند. هنگامی که جریان هوا از طریق خط لوله وجود دارد ، این فلز این قسمت از گاز را دوباره وارد جریان هوا می کند و گاز خالص را آلوده می کند. هنگامی که جریان هوا در لوله جریان ناپیوسته است ، لوله گاز را تحت فشار قرار می دهد و هنگامی که جریان هوا متوقف می شود ، گاز جذب شده توسط لوله افت فشار برای حل و فصل ایجاد می کند و گاز حل شده نیز به عنوان ناخالصی وارد گاز خالص در لوله می شود. در عین حال ، جذب و وضوح تکرار می شود ، به طوری که فلز موجود در سطح داخلی لوله نیز مقدار مشخصی از پودر تولید می کند و این ذرات گرد و غبار فلزی نیز گاز خالص درون لوله را آلوده می کنند. این ویژگی لوله برای اطمینان از خلوص گاز حمل شده ضروری است ، که نه تنها به یک صافی بسیار زیاد از سطح داخلی لوله ، بلکه مقاومت در برابر سایش زیاد نیز نیاز دارد.
هنگامی که از گاز با عملکرد خورنده قوی استفاده می شود ، باید از لوله های استیل ضد زنگ مقاوم در برابر خوردگی برای لوله کشی استفاده شود. در غیر این صورت ، این لوله به دلیل خوردگی ، لکه های خوردگی را روی سطح داخلی ایجاد می کند و در موارد جدی ، منطقه بزرگی از سلب فلز یا حتی سوراخ شدن وجود خواهد داشت که باعث می شود گاز خالص برای توزیع آن آلوده شود.
اتصال خطوط لوله انتقال و توزیع گاز با خلوص بالا و تمیز بودن گاز با سرعت جریان بزرگ.
در اصل ، همه آنها جوش داده می شوند ، و لوله های مورد استفاده لازم است در هنگام استفاده از جوشکاری هیچ تغییری در سازمان نداشته باشند. مواد با میزان کربن بسیار زیاد در معرض نفوذپذیری هوا در هنگام جوشکاری قرار دارند و این باعث می شود نفوذ متقابل گازها در داخل و خارج از لوله باشد و خلوص ، خشکی و پاکیزگی گاز منتقل شده را از بین می برد و در نتیجه از بین رفتن تمام تلاش های ما می شود.
به طور خلاصه ، برای گاز با خلوص بالا و خط لوله انتقال گاز ویژه ، استفاده از یک درمان ویژه از لوله های استیل ضد زنگ با خلوص بالا ، برای ایجاد سیستم خط لوله با خلوص بالا (از جمله لوله ها ، اتصالات ، دریچه ها ، VMB ، VMP) در توزیع گاز با خلوص بالا یک مأموریت حیاتی را اشغال می کند.
مفهوم کلی فناوری تمیز برای خطوط لوله انتقال و توزیع
انتقال بدنه گاز بسیار خالص و تمیز با لوله کشی به این معنی است که نیازها یا کنترل خاصی برای سه جنبه گاز برای حمل وجود دارد.
خلوص گاز: محتوای جو ناخالصی در خلوص GGAS: محتوای جو ناخالصی در گاز ، که معمولاً به عنوان درصد خلوص گاز بیان می شود ، مانند 99.9999 ٪ ، همچنین به عنوان نسبت حجم محتوای جو ناخالصی PPM ، PPB ، PPT بیان می شود.
خشکی: میزان رطوبت ردیابی در گاز یا مقدار به نام رطوبت ، معمولاً از نظر نقطه شبنم مانند نقطه شبنم فشار اتمسفر -70 بیان می شود. ج
پاکیزگی: تعداد ذرات آلودگی موجود در گاز ، اندازه ذرات میکرومتر ، چند ذرات/m3 برای بیان ، برای هوای فشرده ، معمولاً از نظر میزان میلی گرم در متر مکعب باقیمانده های جامد غیرقابل اجتناب ، که میزان روغن را پوشش می دهد ، بیان می شود.
طبقه بندی اندازه آلاینده: ذرات آلاینده ، به طور عمده به تمیز کردن خط لوله ، سایش ، خوردگی ناشی از ذرات فلزی ، ذرات دوده اتمسفر ، و همچنین میکروارگانیسم ها ، فاژها و قطرات چگالش گاز حاوی رطوبت و غیره ، با توجه به اندازه اندازه ذرات آن تقسیم می شود.
الف) ذرات بزرگ - اندازه ذرات بالاتر از 5 میکرومتر
ب) ذرات-قطر مواد بین 0.1μm-5μm
ج) ذرات فوق العاده میکرو-اندازه ذرات کمتر از 0.1μm.
به منظور ارتقاء کاربرد این فناوری ، برای اینکه بتوانیم درک ادراکی از اندازه ذرات و واحدهای μM را داشته باشیم ، مجموعه ای از وضعیت ذرات خاص برای مرجع ارائه شده است
در زیر مقایسه ذرات خاص است
| نام /اندازه ذرات (میکرومتر) | نام /اندازه ذرات (میکرومتر) | نام/ اندازه ذرات (میکرومتر) |
| ویروس 0.003-0.0 | ذرات معلق در هوا 0.03-1 | میکرودروپلت ذرات معلق در هوا 1-12 |
| سوخت هسته ای 0.01-0.1 | 0.1-6 رنگ کنید | پرواز خاکستر 1-200 |
| کربن سیاه 0.01-0.3 | پودر شیر 0.1-10 | سموم دفع آفات 5-10 |
| رزین 0.01-1 | باکتری 0.3-30 | گرد و غبار سیمان 5-100 |
| دود سیگار 0.01-1 | گرد و غبار شن و ماسه 0.5-5 | گرده 10-15 |
| سیلیکون 0.02-0.1 | سموم دفع آفات 0.5-10 | موهای انسانی 50-120 |
| نمک متبلور 0.03-0.5 | گرد و غبار گوگرد غلیظ 1-11 | شن و ماسه دریایی 100-1200 |
زمان پست: ژوئن 14-2022