فناوری لوله کشی گاز با خلوص بالا بخش مهمی از سیستم تامین گاز با خلوص بالا است که فناوری کلیدی برای رساندن گاز با خلوص بالا مورد نیاز به نقطه استفاده و همچنان حفظ کیفیت واجد شرایط است.فناوری لوله کشی گاز با خلوص بالا شامل طراحی صحیح سیستم، انتخاب اتصالات و لوازم جانبی، ساخت و نصب و آزمایش می باشد.در سال های اخیر، الزامات سختگیرانه فزاینده در مورد محتوای خلوص و ناخالصی گازهای با خلوص بالا در تولید محصولات میکروالکترونیک که توسط مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ نشان داده شده اند، باعث شده است که فناوری لوله کشی گازهای با خلوص بالا به طور فزاینده ای مورد توجه و تاکید قرار گیرد.در زیر مروری کوتاه بر لوله‌کشی گاز با خلوص بالا از انتخاب مواد ارائه شده استof ساخت و ساز و همچنین پذیرش و مدیریت روزانه.
انواع گازهای رایج
طبقه بندی گازهای رایج در صنعت الکترونیک：
گازهای رایج(گاز فله): هیدروژن (H2)نیتروژن (N2، اکسیژن (O2آرگون (A2)، و غیره.
گازهای تخصصیSiH هستند4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… و غیره.
انواع گازهای خاص را می توان به طور کلی به عنوان خورنده طبقه بندی کردگاز، سمیگاز، قابل اشتعالگاز، قابل احتراقگاز، بی اثرگازو غیره.
(i) خورنده / سمیگاز: HCl، BF3، WF6, HBr , SiH2Cl2، NH3، PH3، کل2، BCl3…و غیره.
(ii) اشتعال پذیریگاز: اچ2، CH4SiH4، PH3، AsH3، SiH2Cl2، بی2H6، CH2F2,CH3F، CO ... و غیره
(iii) قابلیت احتراقگاز: ای2، کل2، ن2O، NF3… و غیره.
(IV) بی اثرگاز: ن2CF4، سی2F6، سی4F8,SF6، CO2، Ne ، Kr ، He ... و غیره.
بسیاری از گازهای نیمه هادی برای بدن انسان مضر هستند.به ویژه برخی از این گازها مانند SiH4 احتراق خود به خود، تا زمانی که نشت به شدت با اکسیژن موجود در هوا واکنش نشان دهد و شروع به سوختن کند.و AsH3بسیار سمی است، هر گونه نشتی جزئی ممکن است باعث خطر جان انسان شود، به دلیل این خطرات آشکار است، بنابراین الزامات ایمنی طراحی سیستم به ویژه بالا است.
دامنه کاربرد گازها
به عنوان یک ماده خام اساسی مهم در صنعت مدرن، محصولات گازی به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرند و تعداد زیادی از گازهای رایج یا گازهای خاص در متالورژی، فولاد، نفت، صنایع شیمیایی، ماشین آلات، الکترونیک، شیشه، سرامیک، مصالح ساختمانی، ساخت و ساز استفاده می شود. ، فرآوری مواد غذایی، پزشکی و بخش های پزشکی.استفاده از گاز به ویژه بر فناوری بالای این میادین تأثیر مهمی دارد و ماده اولیه آن گاز یا گاز فرآیندی است.تنها با نیاز و ارتقای بخش‌های مختلف صنعتی جدید و علم و فناوری روز می‌توان محصولات صنعت گاز را از نظر تنوع، کیفیت و کمیت جهشی توسعه داد.
کاربرد گاز در صنایع میکروالکترونیک و نیمه هادی
استفاده از گاز همیشه نقش مهمی در فرآیند نیمه هادی ایفا کرده است، به ویژه فرآیند نیمه هادی به طور گسترده ای در صنایع مختلف، از ULSI سنتی، TFT-LCD گرفته تا صنایع فعلی میکرو الکترومکانیکی (MEMS) استفاده می شود. که از فرآیند به اصطلاح نیمه هادی به عنوان فرآیند تولید محصولات استفاده می کنند.خلوص گاز تأثیر تعیین کننده ای بر عملکرد اجزاء و بازده محصول دارد و ایمنی گازرسانی به سلامت پرسنل و ایمنی عملیات کارخانه مرتبط است.
اهمیت لوله کشی با خلوص بالا در حمل و نقل گاز با خلوص بالا
در فرآیند ذوب فولاد ضد زنگ و ساخت مواد، حدود 200 گرم گاز در هر تن قابل جذب است.پس از فرآوری فولاد ضد زنگ، نه تنها سطح آن با آلاینده های مختلف چسبناک است، بلکه در شبکه فلزی آن نیز مقدار معینی گاز جذب می شود.هنگامی که جریان هوا از طریق خط لوله وجود دارد، فلز این قسمت از گاز را جذب می کند، دوباره وارد جریان هوا می شود و گاز خالص را آلوده می کند.هنگامی که جریان هوا در لوله جریان ناپیوسته است، لوله گاز را تحت فشار جذب می کند و هنگامی که جریان هوا متوقف می شود، گاز جذب شده توسط لوله یک افت فشار تشکیل می دهد تا حل شود و گاز تجزیه شده نیز وارد گاز خالص لوله می شود. به عنوان ناخالصیدر عین حال جذب و تفکیک مجدد تکرار می شود به طوری که فلز سطح داخلی لوله نیز مقدار مشخصی پودر تولید می کند و این ذرات گرد و غبار فلزی گاز خالص داخل لوله را نیز آلوده می کند.این ویژگی لوله برای اطمینان از خلوص گاز منتقل شده ضروری است، که نه تنها به صافی بسیار بالای سطح داخلی لوله، بلکه به مقاومت در برابر سایش نیز نیاز دارد.
هنگامی که از گاز با عملکرد خورنده قوی استفاده می شود، باید از لوله های فولادی ضد زنگ مقاوم در برابر خوردگی برای لوله کشی استفاده شود.در غیر این صورت لوله در اثر خوردگی در سطح داخلی لکه‌های خوردگی ایجاد می‌کند و در موارد جدی سطح وسیعی از جدا شدن فلز و یا حتی سوراخ شدن آن ایجاد می‌شود که گاز خالص توزیع‌شده را آلوده می‌کند.
اتصال خطوط لوله انتقال و توزیع گاز با خلوص بالا و تمیزی بالا با دبی زیاد.
اصولاً همه آنها جوشی هستند و لوله های مورد استفاده باید در زمان جوشکاری تغییری در سازمان نداشته باشند.موادی که کربن بسیار بالایی دارند در هنگام جوشکاری در معرض نفوذپذیری هوای قطعات جوش داده شده قرار می گیرند که باعث نفوذ متقابل گازها در داخل و خارج لوله می شود و خلوص، خشکی و تمیزی گاز منتقل شده را از بین می برد و در نتیجه از دست می رود. تمام تلاش ما
به طور خلاصه، برای گاز با خلوص بالا و خط لوله انتقال گاز ویژه، لازم است از درمان ویژه لوله فولادی ضد زنگ با خلوص بالا استفاده شود تا سیستم خط لوله با خلوص بالا (شامل لوله، اتصالات، شیر، VMB، VMP) در توزیع گاز با خلوص بالا یک ماموریت حیاتی را اشغال می کند.
مفهوم کلی فناوری پاک برای خطوط لوله انتقال و توزیع
انتقال بدنه گاز بسیار خالص و تمیز با لوله‌کشی به این معنی است که الزامات یا کنترل‌های خاصی برای سه جنبه گازی که باید حمل شود وجود دارد.
خلوص گاز: محتوای ناخالصی اتمسفر در gGas خلوص: محتوای ناخالصی اتمسفر در گاز، معمولاً به عنوان درصد خلوص گاز بیان می شود، مانند 99.9999٪، همچنین به عنوان نسبت حجمی محتوای ناخالصی اتمسفر ppm، ppb بیان می شود. ppt
خشکی: مقدار کمی رطوبت در گاز یا مقداری که به آن رطوبت می گویند، معمولاً بر حسب نقطه شبنم بیان می شود، مانند نقطه شبنم فشار اتمسفر -70.سی.
تمیزی: تعداد ذرات آلاینده موجود در گاز، اندازه ذرات میکرومتر، تعداد ذرات در M3 برای بیان، برای هوای فشرده، معمولاً بر حسب چند میلی گرم در متر مکعب باقیمانده جامد اجتناب ناپذیر نیز بیان می شود که محتوای روغن را پوشش می دهد. .
طبقه بندی اندازه آلاینده: ذرات آلاینده، عمدتاً به شستشوی خط لوله، سایش، خوردگی ایجاد شده توسط ذرات فلز، ذرات دوده اتمسفر، و همچنین میکروارگانیسم ها، فاژها و قطرات تراکم گاز حاوی رطوبت و غیره، با توجه به اندازه اندازه ذرات آن اشاره دارد. تقسیم می شود
الف) ذرات بزرگ - اندازه ذرات بالای 5μm
ب) قطر ذرات بین 0.1μm-5μm
ج) ذرات فوق میکرو - اندازه ذرات کمتر از 0.1μm.
به منظور افزایش کاربرد این فناوری، برای درک ادراکی اندازه ذرات و واحدهای میکرومتر، مجموعه ای از وضعیت ذرات خاص برای مرجع ارائه شده است.
در زیر مقایسه ای از ذرات خاص ارائه شده است
| نام / اندازه ذرات (μm) | نام / اندازه ذرات (μm) | نام / اندازه ذرات (μm) |
| ویروس 0.003-0.0 | آئروسل 0.03-1 | میکرو قطره آئروسل 1-12 |
| سوخت هسته ای 0.01-0.1 | رنگ 0.1-6 | خاکستر بادی 1-200 |
| کربن سیاه 0.01-0.3 | پودر شیر 0.1-10 | آفت کش 5-10 |
| رزین 0.01-1 | باکتری 0.3-30 | گرد و غبار سیمان 5-100 |
| دود سیگار 0.01-1 | گرد و غبار ماسه 0.5-5 | گرده 10-15 |
| سیلیکون 0.02-0.1 | آفت کش 0.5-10 | موی انسان 50-120 |
| نمک متبلور 0.03-0.5 | غبار غلیظ گوگرد 1-11 | ماسه دریا 100-1200 |
زمان ارسال: ژوئن-14-2022